方管合頁拋光機操作的關鍵是要設法得到大的拋光速率,以便盡快除去方管合頁拋光機磨光時產(chǎn)生的損傷層。同時也要使方管合頁拋光機拋光損傷層不會影響觀察到的組織,即不會造成組織。前者要求使用較粗的磨料,以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層,但拋光損傷層也較深;后者要求使用細的材料,使拋光損傷層較淺,但拋光速率低。解決這個矛盾的好的辦法就
把拋光分為兩個階段進行。粗拋目的是去除磨光損傷層,這一階段應具有大的拋光速率,粗拋形成的表層損傷是次要的考慮,不過也應當盡可能?。黄浯问蔷珤?或稱終拋),其目的是去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷,使拋光損傷減到小。