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恩梯恩公司（NTN）2016年3月9日宣布，開(kāi)發(fā)出了涂敷數(shù)pL的液滴、然后對(duì)涂敷后的形狀進(jìn)行三維測(cè)定的“帶測(cè)定功能的微細(xì)涂敷機(jī)”（英文發(fā)布資料）。設(shè)想的用途包括：安裝芯片零部件時(shí)使用的粘合劑和導(dǎo)電膏的涂敷、管理和檢查；組裝微型機(jī)械、微型機(jī)器人時(shí)粘合劑的涂敷、管理和檢查；生物和新藥開(kāi)發(fā)等。該裝置可以測(cè)量涂敷的形狀、面積和涂敷量的體積，因此能夠?qū)ν糠蟛牧系臅r(shí)間變化和干燥度等特性進(jìn)行評(píng)測(cè)。
“帶測(cè)定功能的微細(xì)涂敷機(jī)”的外觀（發(fā)布資料）
該公司2015年開(kāi)發(fā)出了“臺(tái)式高速微細(xì)涂敷機(jī)”，能夠以每次0.1秒的速度、以1μm的定位精度，使用針尖上附著的數(shù)pL的液滴進(jìn)行直徑為0.01～0.1mm點(diǎn)狀涂敷（英文發(fā)布資料）。這次的新裝置在此基礎(chǔ)上又增加了“微細(xì)三維形狀測(cè)定”功能。當(dāng)測(cè)定的高度范圍在20μm以內(nèi)時(shí)，涂敷時(shí)間為0.1秒，測(cè)定時(shí)間為0.6秒，只需0.7秒即可完成涂敷和測(cè)定（不包括載物臺(tái)移動(dòng)時(shí)間）。通過(guò)全面測(cè)定涂敷的粘合劑等的形狀和涂敷量，得到的數(shù)據(jù)可以用于品質(zhì)管理等。
新裝置的設(shè)置面積約為300mm×300mm，與2015年的產(chǎn)品基本相同。涂敷機(jī)需配合個(gè)人電腦使用，通過(guò)鼠標(biāo)設(shè)定微細(xì)涂敷及形狀測(cè)定的條件等。
