供應:(UV石英片、石英片廠家、供應石英片) 定做石英片 定做畸形石英片; 廠家定做了,價格便宜了 。 tel :021-63510495-807 復合涂層石英玻璃
復合涂層石英玻璃有高純涂層石英玻璃和抗高溫形變石英玻璃兩種,它以氣煉透明石英玻璃管為基體管,采用高純涂層工藝及特殊處理方法制作而成。這類玻璃適用于大規(guī)模集成電路和電子工業(yè)的氧化、擴散等。
一、產(chǎn)品
石英玻璃廠生產(chǎn)的復合涂層石英玻璃制品,是在一般氣煉透明石英玻璃制品的表面涂復一層特殊材料而制成的復合材料,它純度高,抗高溫形變性能好,對鈉離子有一定阻擋作用。其涂層厚度為5~10微米。石英玻璃廠和建材科研院于1981~1985年先后完成高純抗高溫形變石英玻璃、大規(guī)模集成電路用高純涂層石英玻璃科研項目,并試制出FQ—001、FQ—201和FQ—211等3個牌號的復合石英玻璃管新產(chǎn)品,年產(chǎn)量達2000公斤。這些產(chǎn)品解決了電子工業(yè)對石英玻璃管所要求的高純、耐高溫、長期不變形的問題。FQ—201、FQ—211兩種抗高溫形變石英玻璃管使用溫度均可達到1280C,其耐高溫性能比國產(chǎn)普通氣煉石英玻璃管增高100℃,使用壽命提高1倍以上,高溫形變性能達到當時lb德國赫勞斯公司和日本信越公司的同類產(chǎn)品水平。FQ—201抗析晶性好,可在高溫下反復使用,F(xiàn)Q—211適用于連續(xù)高溫使用。這些產(chǎn)品經(jīng)機械工業(yè)部西安整流器研究所、科學院109廠、北京半導體研究所、北京整流器廠等單位的引進生產(chǎn)線和國內(nèi)生產(chǎn)線使用,效果良好,已批量生產(chǎn)。1985年高純抗高溫形變石英玻璃獲上海市科技進步三等獎、國家技術進步二等獎。
石英玻璃廠氣煉石英玻璃坩堝原來用tr水晶料,成本高,質量不穩(wěn)定,坩堝純度不高。1973年采用高純四氯化硅為涂層原料,制造出內(nèi)層具有99.9999%以上純度的復合高純涂層石英玻璃坩堝。該產(chǎn)品經(jīng)上海冶煉廠、北京有色金屬研究院等單位應用,質量符合要求。制造高純涂層坩堝,當合格率為90%時,可比不涂層坩堝成本下降13%,為四氯化硅料的綜合利用開辟一條新途徑。該產(chǎn)品1981年9月獲上海市優(yōu)質產(chǎn)品證書,1981年10月獲國家建材局部級優(yōu)質產(chǎn)品證書,1983年獲國家銀質獎。該廠復合涂層石英坩堝從1982~1990年累計產(chǎn)量39004只。
二、生產(chǎn)工藝
復合高純涂層石英玻璃采用低品位水晶塊料,加工成粉子,經(jīng)純化處理后,變低品位水晶料為優(yōu)質水晶料(高純二氧化硅),再氣煉成透明石英玻璃制品,以此為基體,用高純四氯化硅經(jīng)載體氧噴涂在該基體內(nèi)壁上,制成復合高純涂層石