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RTP快速退火爐
RTP快速退火爐

RTP快速退火爐

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
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鄭州市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)翠竹街6號9幢820號
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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州高新技術(shù)開發(fā)區(qū)863軟件園內(nèi),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備和材料制備原料代理的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向,立志做先進材料制備技術(shù)及設(shè)備和原料的提供商。
        鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的“研發(fā)團隊”憑借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識和豐富的實踐經(jīng)驗,先后研發(fā)出了多款先進材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。
       鄭州成越科學(xué)儀器有限公司  近年來,在社會各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請了多位國內(nèi)外重點高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點,推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界一致好評。
       如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團隊為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。

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TP快速退火爐由我公司自主研發(fā)。采用國際先進制造工藝,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,安全可靠,目前已被各種試樣實驗多次驗證,并已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域,該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火,也可用于歐姆接觸快速合金,還可用于硅化物合金退火,氧化物生長,以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。

主要技術(shù)參數(shù)

規(guī)格型號

CY-R1100-A

穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍

100~1000℃

溫度測量精度

±0.2℃

溫度控制重復(fù)性

±1℃

溫度控制jq度

±1℃

溫場均勻性

±2℃

最快升溫速率

500℃/S

降溫速率

1~200℃/S(通氮氣,速率更快)

溫度控制模式

智能模糊PID控制

操控系統(tǒng)

CY-101溫控系統(tǒng)

擴充端口

可擴充真空測控和FFC供氣系統(tǒng)

熱電偶校準(zhǔn)狀態(tài)檢測

軟件校準(zhǔn),方便準(zhǔn)確,軟件分析傳感器狀態(tài)是否正常

超高溫狀態(tài)檢測

軟件檢測出溫度信息出現(xiàn)高溫異常時,切斷主回路

顯示模式

LCD觸摸屏

設(shè)計功率

15KW

額定電壓

AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

傳感器類型

S型熱電偶

反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸

Φ100X200

式樣有效空間

3.5"

真空度

4.3X10E-3Pa(需要另外外配分子泵)

抽氣端口尺寸

KF16(或Φ8mm寶塔嘴)

供氣口尺寸

Φ6.35mm雙卡套

冷卻方式

自然冷卻或強迫風(fēng)冷

 

鄭重聲明:產(chǎn)品 【RTP快速退火爐】由 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司 發(fā)布,版權(quán)歸原作者及其所在單位,其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)(企業(yè)庫m.nnfsds.com)證實,請讀者僅作參考,并請自行核實相關(guān)內(nèi)容。若本文有侵犯到您的版權(quán), 請你提供相關(guān)證明及申請并與我們聯(lián)系(qiyeku # qq.com)或【在線投訴】,我們審核后將會盡快處理。
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