400℃晶圓片真空烘箱，快速升降溫高溫真空充氮烘箱
本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。
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型號
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VOD-90
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VOD-210
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VOD-216
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真空度
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≤10 pa
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電源
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AC380V 3φ 50HZ
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功率（KW）
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12
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18
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20
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工作環(huán)境溫度
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性能
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溫度范圍
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RT+10℃～450℃
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升溫時間
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2 ℃/minute～4 ℃/minute
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降溫時間
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2 ℃/minute～4 ℃/minute
(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)
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結(jié)構(gòu)
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外殼
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冷扎碳鋼板，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷
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內(nèi)膽
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5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內(nèi)外表面拋光
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保溫材料
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厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好
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箱門
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真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護(hù).(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)
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真空泵
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LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);
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加熱系統(tǒng)
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四面輻射加熱
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電器系統(tǒng)
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系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停；
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溫控輸出
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SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器
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安全保護(hù)
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加熱電流過流、系統(tǒng)短路保護(hù)、電壓過壓保護(hù)、真空泵過負(fù)載、
缺相保護(hù)、電爐超溫報警等功能
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內(nèi)容積（L））
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91
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215
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252
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內(nèi)部尺寸（㎜）
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W450×D450×H450
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W560×D640×H600
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W700×D600×H600
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外部尺寸（㎜）
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W800×D800×H1715
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W910×D990×H1865
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W1050×D950×H1865
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400℃晶圓片真空烘箱，快速升降溫高溫真空充氮烘箱
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