該系統(tǒng)為化學(xué)品藥液混酸及供應(yīng)系統(tǒng),目的是提高化學(xué)品的利用率。
1、過濾后的化學(xué)品輸送到清液tank A或tank B,A 、B tank 有高液位傳感器,其中一個(gè)滿時(shí)會(huì)切換到另一個(gè)。
2、混酸t(yī)ank
C 安裝有稱重模塊,在線顯示tank內(nèi)液體的量,在人機(jī)界面先設(shè)定需要的氫氟酸濃度,啟動(dòng)泵A往混酸t(yī)ank
C輸送清液,然后泵B會(huì)啟動(dòng)循環(huán),濃度計(jì)會(huì)計(jì)算出清液的濃度,根據(jù)事先設(shè)定的氫氟酸濃度,PLC會(huì)計(jì)算出需要的高濃度氫氟酸量,啟動(dòng)泵D往混酸t(yī)ank C輸送已知高濃度氫氟酸。
3、混酸t(yī)ank
C 循環(huán)到目標(biāo)值后,輸送到tank E或tank F,同樣有高液位傳感器相互切換。
4、混酸t(yī)ank
D的流程跟混酸t(yī)ank C 同樣,兩臺同時(shí)混可以提{gx}率。
5、當(dāng)蝕刻機(jī)臺需酸時(shí),啟動(dòng)要酸按鈕,氣動(dòng)閥打開,泵啟動(dòng),往槽內(nèi)輸送酸,蝕刻槽有液位傳感器,到高液位會(huì)自動(dòng)停止,供酸結(jié)束。