伯東公司是美國考夫曼公司 Kuafman & Robinson,Inc(KRI) 中國總代理. KRI 考夫曼公司是由發(fā)明人 Dr.Kaufman 考夫曼博士于 1978年在美國創(chuàng)立. 歷經(jīng) 30 年改良及發(fā)展已取得多項專利, 受到各領(lǐng)域的肯定.
KRi 系列產(chǎn)品融合一系列等離子技術(shù), 主要分為以下幾類:
無柵式端部霍爾 eh
eH 系列可輸出高離子流和低能源束。離子流達(dá)到高速運(yùn)行需求的同時低能源束能夠減少對設(shè)備外表面與內(nèi)表面的傷害。
有柵極射頻感應(yīng)耦合等離子體 RFICP
RFICP 系列可以在無燈絲的情況下提供高密度離子流.從離子流中提取的離子束能夠被準(zhǔn)確的控制以便提供設(shè)定的形狀,電流密度以及離子能。
有柵極 KDC
KDC 系列是根據(jù)典型的考夫曼加強(qiáng)設(shè)計的。傳統(tǒng)的工藝使其能夠輸出高質(zhì)、穩(wěn)定的離子束。
電源與控制器
我們的電源與控制器操作不同種類的離子、等離子以及電子源。這些產(chǎn)品能夠為等離子流程中的動荷作用輸出平穩(wěn)、連續(xù)的電源。
電子源與中和器
這些電子源低能量、高電流源。它們一般應(yīng)用于中和劑或陰極材料,以便控制與等離子源的產(chǎn)量。
PTIBEAMTM 離子透鏡
我們的離子束源采用耐融金屬或石墨的多孔徑網(wǎng)格。這些網(wǎng)格或是平的,或是中凹的,它們與多孔模式一同控制離子軌跡。離子軌跡的聚集產(chǎn)生了離子束,離子電流的分布塑造了該離子束的形狀特征。
EH1010F , EH1020F …系列廣泛用于鍍膜之前處理 (ISSP) 及離子輔助鍍膜 (IBAD)且有助于提高光學(xué)成膜之沉淀速率, 附著度, 可靠度, 增加折射率, 穿透率等. 整體設(shè)計低耗材, 安裝簡易, 維護(hù)簡單廣泛應(yīng)用在生產(chǎn)企業(yè)和科研單位
EH1010F, EH1020F, EH3050F, EH5050F…系列, 目前被廣泛應(yīng)用于 AR, IR, 分光鏡, 光學(xué)蒸鍍鍍膜制程, 多層膜光學(xué)鍍膜制程, 低溫度膜制, PVD 制程, 材料分析等等…
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EH1020F 蒸鍍制程設(shè)備應(yīng)用
EH1020F controller
HOLLOW CATHODE 系列 EH200HC, EH400HC, EH1000HC, EH2000HC … 系列不僅廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)單位, 且因離子抨擊能量強(qiáng), 蝕刻效率快, 可因應(yīng)多種基材特性, 單次使用長久, 耗材成本極低, 操作簡易, 安裝簡易, 所以目前廣泛應(yīng)用于許多蝕刻制程及基板前處理制程.
EH400HC Etching application ( ion source body )
KRI ion source controller
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EH400HC Etching application ( ion source igniting )
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FeSeTe etching application ( 110V/1.5A etching rate >20 A/Sec )
![KRI 考夫曼離子源](http://www.hakuto-/file/images/7.JPG)
PCCO Etching application (110V/1.5A etching rate >17A/Sec )