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伯東MOCVD設(shè)備檢漏方法

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伯東MOCVD設(shè)備檢漏方法伯東MOCVD設(shè)備檢漏方法圖片伯東MOCVD設(shè)備檢漏方法生產(chǎn)廠家

伯東企業(yè)（上海）有限公司

伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界{yl}的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機(jī)，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為國際知名真空品牌指定授權(quán)代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，100% 使用原廠進(jìn)口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師；擁有wq的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務(wù)。

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http://. MOCVD 設(shè)備檢漏
上海伯東客戶廈門某大型 LED 生產(chǎn)企業(yè)，近日成功采購6臺http://. ASM 340 用于 MOCVD 設(shè)備檢漏。
MOCVD 是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。因為 MOCVD 生長使用的源是易燃、易爆、毒性很強(qiáng)的物質(zhì)，因此在設(shè)備出廠時必須要考慮密封性，否則一旦有毒物質(zhì)泄漏，后果不堪設(shè)想！

上海伯東客戶廈門某大型 LED 生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)用實例：
MOCVD 需要檢漏位置：所有懷疑有漏的地方都需要進(jìn)行檢漏，主要檢漏源供給、輸運和尾氣處理系統(tǒng)（例如管路接頭、管道、焊縫等位置）。
根據(jù)客戶實際需要，MOCVD 檢漏基本配置：http://. +http://. 如下圖所示：
伯東pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340

MOCVD 檢漏方法：采用真空模式檢漏
1. 將設(shè)備通過波紋軟管連接http://.，確認(rèn)連接完畢
2. 啟動 ASM 340，進(jìn)入待機(jī)界面；初次啟動時間大約 3min，以后啟動 < 1min
3. 按下開始鍵，先通過 bypass 閥門啟動http://. 抽真空，到達(dá)一定壓力http://. 開始工作，同時在設(shè)備懷疑有漏的地方噴氦氣；若有漏，http://.馬上報警，顯示該噴射點有漏。
4. 檢測完畢，按下http://.待機(jī)鍵，放氣、關(guān)閉電源，移除連接管路。

Pfeiffer 德國普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀 ：上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部是德國 http://. 指定銷售維修中心，我司是國內(nèi)最早代理 http://. 產(chǎn)品的公司，{bfb} 原裝進(jìn)口并提供 Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品的售后維修服務(wù)。http://www.hakuto-/product-detail.php?id=290

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