VIVO-1000

品牌：ALFA 種類：平口機(jī) 型號(hào)：VIVO-1000

別名：端面平口機(jī) 用途：潔凈管平口 外形尺寸：300*300（mm）

1、機(jī)器功能：平口    在指定位置平口   去毛刺  

2、卡環(huán)范圍：外徑1/8"（3.175mm）- 1"(25.4mm)

切削范圍：內(nèi)徑0mm--- 1"(25.4mm)

轉(zhuǎn)速（空載）：1擋：0---400r/min

              2擋：0---1450r/min

手動(dòng)進(jìn)刀量：1.5mm/轉(zhuǎn)

進(jìn)刀行程：10mm

驅(qū)動(dòng)：無繩電驅(qū)動(dòng)

電耗：連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間15分鐘

機(jī)器重量：2.5公斤，帶電池

裝箱重量：7公斤

VIVO-1000

提供快速而簡單的操作，是承包商、操作員、維修部門等對(duì)高潔凈管路的理想工具，始終保證管口與管外徑的垂直度。

不銹鋼制管件是用來傳輸各種制程氣體的主要管件，尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險(xiǎn)性氣體。所以不銹鋼制管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質(zhì)的管件中最為嚴(yán)格，一般對(duì)于P級(jí)要求（×10 -9級(jí)）制程氣體的輸送，均要求采用SUS316材質(zhì)的EP (Electronic Polishing)管材，對(duì)于一般非制程氣體的輸送采用SUS316材質(zhì)的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作為一種低含碳量的不銹鋼材料，它不僅具有抗腐蝕性好的優(yōu)點(diǎn)，而且對(duì)凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是經(jīng)過了溶解、壓延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、熱處理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等復(fù)雜過程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等過程外，再加以電解研磨及精密洗凈技術(shù)，其Rmax≦0.7mm[3] 。

氣體管件在安裝時(shí)，施工原則是應(yīng)盡可能地以連續(xù)式且無接口的方式進(jìn)行，這樣可以減少使用接頭的數(shù)量，降低潛在的氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn)。管件與管件間的連接{zh0}以軌道式焊接法（Orbital Welding）來接合，對(duì)于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊，并向施焊管內(nèi)通入同等純度的氬氣，這樣可以確保連接的品質(zhì)，并防止管件內(nèi)壁因不當(dāng)?shù)暮附佣练e碳，從而造成氣體管件的污染。管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對(duì)金屬面密封（Metal to metal face seal）的方式進(jìn)行。一般晶圓廠比較常用的氣體管路連接的接頭方式有VCR 和Swagelok兩種，具體選用形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)高純度氣體的用氣要求和氣體本身特性進(jìn)行選擇。一般情況下，VCR式的接頭主要用在制程氣體以及危險(xiǎn)氣體的傳輸上，管路連接后接頭里面的墊圈（Gasket）將會(huì)適度變形以確保管路每秒低于10 -9cc的氦氣泄漏率（Leakage Rate）[4]。不過在接合時(shí)要避免因拴得太緊而導(dǎo)致不銹鋼墊圈過度變形造成接合不良或氣體外泄。Swagelok 接頭通常用在惰性氣體、氮?dú)庖约癈DA等氣體的傳輸上，因?yàn)檫@些氣體可以容許一定的外泄率，所以不常用成本較高且須焊接的VCR式接頭?？偟膩碚f，管件的安裝原則是應(yīng)盡可能減少管件的長度、接頭和閥件的數(shù)量，因?yàn)榇蠖鄶?shù)的危險(xiǎn)氣體的泄漏都發(fā)生在施工不當(dāng)?shù)慕宇^和閥件接合處。