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BOC EDWARDS STP-600C
抽速:650 S/L
復(fù)合式分子泵的分類(lèi):復(fù)合式分子泵的形式很多,按結(jié)構(gòu)分,主要有兩種:
一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合;
另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。
SEIKO SEIKI/BOC EDWARDS
STP-1000
極限真空:5X10-9MBPR