種子是慢慢浮出熔化物的,種子和熔化物間的表面張力在子晶表面上形成一層薄的硅膜,然后冷卻。冷卻時,已熔化硅中的原子會按照子晶的晶體結(jié)構(gòu)自我定向。硅錠wq長大時,它的初始直徑要比最終晶圓片要求的直徑大一點。
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多晶硅是很多具有不同晶向的小單晶體單獨形成的,不能用來做半導(dǎo)體電路。多晶硅必須融化成單晶體,才能加工成半導(dǎo)體應(yīng)用中使用的晶圓片。加工硅晶片生成一個硅錠要花一周到一個月的時間,這取決于很多因素,bao括大小、質(zhì)量和終端用戶要求。超過75%的單晶硅晶圓片都是通過Czochralski(CZ,也叫提拉法)方法生長的。
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即使2014年的支出已呈大幅度增長態(tài)勢,前道fab廠的支出仍需在2014年增長至少49%,才能使得設(shè)備支出回到2007年的水平。此外,設(shè)備的支出計劃也取決于全球經(jīng)濟的持續(xù)復(fù)蘇情況。SEMI全球集成電路制造廠觀測報告(SEMIWorldFabForecast)預(yù)測,2011年前道fab的支出額將略遜于2007年,達到423億美元。
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