廣州捷恩機(jī)電科技有限公司，主要經(jīng)營(yíng)進(jìn)口真空泵及原裝和OEM件的真空泵配件及真空泵油，品牌為：德國(guó)BECKER貝克、德國(guó)BUSCH普旭博世)、德國(guó)LEYBOLD萊寶(來(lái)寶)、德國(guó)RIETSCHLE偉力(里其樂),英國(guó)愛德華、法國(guó)ALCATEL阿爾卡特、日本ORION好利旺、日本ULVAV愛發(fā)科、意大利DVP等的真空泵油及配件
德國(guó)BECKER貝克真空泵壓縮氣體所需的功率與壓差成正比，一旦氣體壓差過(guò)高，泵就可能出現(xiàn)過(guò)載現(xiàn)象，造成電機(jī)繞組燒損。解決泵過(guò)載問(wèn)題的方法主要有以下幾種：
(1) 采用機(jī)械式自動(dòng)調(diào)壓旁通閥。
旁通閥安裝在德國(guó)BECKER貝克真空泵的出口和入口之間的旁通管路上。此閥控制泵出入口之間的壓差不超過(guò)額定值。當(dāng)壓差達(dá)到額定值時(shí)，閥門靠壓差作用自動(dòng)打開，使羅茨真空泵出口和入口相通，使出入口之間的壓差迅速降低，這時(shí)羅茨真空泵在幾乎無(wú)壓差的負(fù)荷下工作。當(dāng)壓差低于額定值時(shí)，閥自動(dòng)關(guān)閉，氣體通過(guò)德國(guó)BECKER貝克真空泵內(nèi)由前級(jí)泵抽走。帶有旁通溢流閥的羅茨真空泵可以與前級(jí)泵同時(shí)啟動(dòng)，使機(jī)組操作簡(jiǎn)單方便
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對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來(lái)防止返流，但不能徹底解決問(wèn)題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。
干泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝。在這些工藝中，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；4）化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止有溶1劑造成污染，適合用干式真空泵；5）用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。
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近年來(lái)，干泵得到迅速的發(fā)展，國(guó)外多家大真空公司都研制出了新型的干泵。國(guó)內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干泵的開發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級(jí)壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級(jí)壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時(shí)可根據(jù)不同的用途加以選擇。
美國(guó)VARIAN公司是當(dāng)今世1界1上1最1具1影1響1力的真空產(chǎn)品制造商之一，Varian公司利用干式渦旋真空獲得技術(shù)為用戶提供了高抽速，低極限壓強(qiáng)的真空泵產(chǎn)品,專為潔凈的無(wú)油系統(tǒng)設(shè)計(jì)，抽氣范圍從大氣壓至10-2mbar。這種干泵具有全無(wú)油、高耐用性、高可靠性以及易維護(hù)等優(yōu)勢(shì)，是眾多應(yīng)用領(lǐng)域的理想前級(jí)真空獲得產(chǎn)品。
