橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關(guān)心的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對材料紅外光學(xué)屬性有很大的影響，因此需要能測量紅外波段的橢偏儀；薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜，到達(dá)基底，然后并被探測器檢測到，因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段；對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。

美國Woollam公司的主要產(chǎn)品有M一44/M一88和VASE兩類。

  M一44/M一88屬于多波長回轉(zhuǎn)檢偏器(R八E)型橢偏儀，但是在起偏器前沒有單色儀，而是偏振的光從樣品表面反射，通過回轉(zhuǎn)檢偏器，經(jīng)過色散到達(dá)硅光二極管列陣上，它是44或88個波長同時進(jìn)行測量。這種儀器最初用于在線檢測，希望具有快速的數(shù)據(jù)采集，但是也可以作為若干固定入射角的線外測量(實驗室)用的光譜橢偏測量儀器使用。

之所以命名為橢圓偏振，是因為一般大部分的極化多是橢圓的。此技術(shù)已發(fā)展近百年，現(xiàn)在已有許多標(biāo)準(zhǔn)化的應(yīng)用。然而，橢圓偏振技術(shù)對于在其他學(xué)科如生物學(xué)和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域引起研究人員的興趣，并帶來新的挑戰(zhàn)。例如以此測量不穩(wěn)定的液體表面和顯微成像。1 基本原理 2 實驗細(xì)節(jié) 2.1 實驗裝置 2.2 數(shù)據(jù)搜集 2.3 數(shù)據(jù)分析 3 定義 3.1 單波長 與 光譜 橢圓偏振技術(shù) 3.2 標(biāo)準(zhǔn) 與 廣義 橢圓偏振理論 (非等向性) 3.3 瓊斯矩陣 與 穆勒矩陣 型式 （去偏極化） 4 進(jìn)階實驗方法 4.1 橢圓偏振成像 4.2 原位橢圓偏振 4.3 橢圓偏振孔隙測定 4.4 磁光廣義橢圓偏振 5 優(yōu)勢