激光干涉儀功能特點(diǎn)：
精度高
以激光干涉技術(shù)為核心，分辨力可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
功能廣
具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測(cè)功能?？梢詸z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。
可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。
具有動(dòng)態(tài)測(cè)量(位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線)及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)量與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
標(biāo)準(zhǔn)多
內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國(guó)標(biāo)(GB)、ISO(國(guó)際)、BS(英制)、美標(biāo)、DIN(德標(biāo))、JIS(日標(biāo))共13份。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
便攜性
使用方便：準(zhǔn)直激光后，輕易實(shí)現(xiàn)設(shè)備線性定位、重復(fù)定位精度、反向間隙、角度、直線度的測(cè)量。
攜帶方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。
可定制
測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。
使用激光干涉儀測(cè)量，必須要考慮到的誤差源：
一、 環(huán)境誤差。激光干涉儀的絕1對(duì)精度取決于周圍條件的精準(zhǔn)程度（或者說(shuō)環(huán)境的穩(wěn)定程度）。環(huán)境溫度每產(chǎn)生1℃的變化，絕1對(duì)壓力每產(chǎn)生2.5mmHg或相對(duì)濕度每產(chǎn)生30%的誤差時(shí)，都將會(huì)導(dǎo)致約1PPM（百萬(wàn)分子一）的測(cè)量誤差。這些誤差利用人工補(bǔ)償或激光干涉儀所配的自動(dòng)補(bǔ)償裝置可部分克服。因此檢測(cè)期間保持這些條件的穩(wěn)定非常重要。
二、 機(jī)床表面溫度。即機(jī)床本身溫度變化的影響。對(duì)于用鋼制絲杠定位滑鞍的機(jī)床，絲杠理論熱膨脹系數(shù)為10.8PPM/℃，即溫度每升高1℃，他將膨脹近10.8微米/米。
三、 死徑誤差（死行程誤差）。它是一種在測(cè)量期間與環(huán)境條件的變化有關(guān)系的誤差。它是由于當(dāng)圍繞激光束的大氣壓力發(fā)生變化（引起激光波長(zhǎng)變化）時(shí)以及當(dāng)固定有激光干涉儀和目標(biāo)反射鏡的材料溫度發(fā)生變化（引起干涉儀和反射鏡之間的距離變化）時(shí)，激光束行程長(zhǎng)度得不到補(bǔ)償而造成。
簡(jiǎn)單的講，激光測(cè)量行程的死行程區(qū)是指激光干涉儀與測(cè)量復(fù)位點(diǎn)（或0點(diǎn)）位置間的距離。激光干涉儀自身的補(bǔ)償系統(tǒng)僅能補(bǔ)償測(cè)量復(fù)位點(diǎn)到測(cè)量行程終點(diǎn)的距離，而對(duì)于死行程區(qū)的距離是不補(bǔ)償?shù)摹?
四、 余弦誤差。激光束路徑對(duì)應(yīng)機(jī)床運(yùn)動(dòng)軸線如未對(duì)準(zhǔn)，將在測(cè)量長(zhǎng)度同實(shí)際移動(dòng)長(zhǎng)度間產(chǎn)生一個(gè)誤差。由于這個(gè)誤差與光束和實(shí)際運(yùn)動(dòng)間未對(duì)準(zhǔn)角的余弦成比例，所以未對(duì)準(zhǔn)誤差通常稱為余弦誤差。余弦誤差=1-cosθ，對(duì)于較小的θ，余弦誤差近似于θ2/2。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng) =1mrad (3 arcmin)，則余弦誤差為0.5ppm。
當(dāng)激光測(cè)量系統(tǒng)與機(jī)床移動(dòng)軸線未對(duì)準(zhǔn)時(shí)，余弦誤差將使測(cè)量長(zhǎng)度小于實(shí)際長(zhǎng)度。xc余弦誤差的方法是在安裝時(shí)確保良好的對(duì)準(zhǔn)。
五、 阿貝誤差。阿貝誤差原理是長(zhǎng)度計(jì)量和長(zhǎng)度計(jì)量?jī)x器設(shè)計(jì)中最經(jīng)典的測(cè)量原理。被測(cè)軸線和測(cè)量軸線應(yīng)在同一直線或其延伸線上，如果在一個(gè)偏離的被測(cè)位移的位置上進(jìn)行測(cè)量時(shí)，部件的任何角運(yùn)動(dòng)都將產(chǎn)生一個(gè)誤差。估算角運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的誤差的一條有益經(jīng)驗(yàn)是：每角秒的角運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生約5um/m的偏移。對(duì)于阿貝偏移為200mm，2秒的角運(yùn)動(dòng)，其測(cè)量位移誤差為200mm×5um/m/角秒×2角秒=2um。
激光干涉儀常見(jiàn)故障及解決方法
開(kāi)機(jī)無(wú)顯示：1、是否接上電源打開(kāi)開(kāi)關(guān)。2、顯示器是否切換到BNC模式。
視場(chǎng)不完整：1、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭是否旋到位。2、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭星點(diǎn)是否與尋星窗口中間的黑點(diǎn)重合。
高度調(diào)節(jié)不明顯：檢查高度調(diào)節(jié)旋鈕是否鎖緊。
干涉條紋暗：調(diào)節(jié)干涉儀上的亮度調(diào)節(jié)旋鈕。
干涉條紋亂：檢查標(biāo)準(zhǔn)鏡頭與被測(cè)透鏡表面是否干凈。
被測(cè)鏡片星點(diǎn)像找不到：調(diào)整鏡片的中心，看鏡片是否放置的傾斜。
條紋亮暗閃動(dòng)：調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的圓形圖像。
