眾所周知，環(huán)境污染主要是工業(yè)污染造成的。其中，大氣污染和水體污染一方面對人們的健康造成影響，另外一方面也會影響生產(chǎn)過程和產(chǎn)品質(zhì)量。綜上所述，為了減少室內(nèi)污染對生產(chǎn)過程的影響，就必須通過潔凈技術(shù)來改善或解決室內(nèi)污染問題。可以肯定，在普通的生產(chǎn)車間想要控制整個(gè)微環(huán)境的懸浮粒子濃度，使其達(dá)到工藝要求的潔凈程度是wq不可能的。只有建造無塵車間，采用密閉的結(jié)構(gòu)，合理的氣流組織及合理的壓差，才能使其微環(huán)境內(nèi)達(dá)到所要求的空氣潔凈度，滿足生產(chǎn)要求。

從過去到現(xiàn)在

    傳統(tǒng)方式安裝一個(gè)潔凈室地板系統(tǒng)，是在一種叫做“開孔華夫板（open waffle slab）”的上面鋪設(shè)。這種華夫板是混凝土矩陣結(jié)構(gòu)，帶有開孔，便于維修和空氣流通。潔凈室地板系統(tǒng)就組裝在這個(gè)矩陣結(jié)構(gòu)之上，支架設(shè)在華夫板的開孔之間，支撐潔凈室地板系統(tǒng)。支架通常是2×2英尺，裝配2×2英尺的地板或通路地板塊。潔凈室對氣流的要求已經(jīng)發(fā)生改變。因?yàn)橹圃炜臻g采用了微環(huán)境，凈化的空氣過濾器數(shù)量減少了。由于產(chǎn)品是放在前開式標(biāo)準(zhǔn)片盒（FOUP）里或一個(gè)晶圓傳送系統(tǒng)里，把材料傳送到每個(gè)微環(huán)境中去，在那里進(jìn)行加工處理。

潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。生物潔凈室潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式可最z大限度減少房間進(jìn)入的、產(chǎn)生的和滯留的粒子。房間內(nèi)的溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數(shù)均按要求受控（ISO 14644-6）潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。