高精度光學(xué)測(cè)量?jī)x MarSurf WM 100 有亞納米級(jí)分辨率和測(cè)量精度。3D 白光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)。
亞納米分辨率和測(cè)量度下有高精度
適合所有光學(xué)和反射表面、精細(xì)技術(shù)表面和電路板、半導(dǎo)體產(chǎn)品和生物組織表面
2D 表面分析和測(cè)量評(píng)估
地形學(xué) 3D 表面分析和測(cè)量評(píng)估
快速測(cè)量 #96 短測(cè)量時(shí)間
在 4 個(gè)軸上手動(dòng)定位工作臺(tái)和物體
多種鏡頭選擇，可根據(jù)測(cè)量對(duì)象進(jìn)行調(diào)整
采用花崗石底座的穩(wěn)固型設(shè)計(jì)
基于 MountainsMap© 的評(píng)估軟件

測(cè)量原則
使用干涉儀，白光干涉儀
光源 (WLI)：高功率 LED，505 nm

測(cè)量范圍 mm
傳感器裝置在 Z 方向可手動(dòng)移動(dòng) 200 mm
載物臺(tái)在 X 和 Y 方向可手動(dòng)移動(dòng)

干涉儀，白光干涉儀：
測(cè)量范圍(WLI)：高 100 μm（垂直）
接口      230 V, 50 Hz

機(jī)器建造
所有類型純金屬表面（打磨，軋制等），以及激光結(jié)構(gòu)表面、細(xì)陶瓷和塑料表面、鑄模表面

醫(yī)療
植入體、假肢和儀器的金屬、陶瓷和塑料表面

電子
涂層表面分析，電子和半導(dǎo)體組件的測(cè)量和分析

光學(xué)
各種光學(xué)組件（所有材料）的粗糙度分析

CT 120 雙軸傾斜工作臺(tái)

設(shè)置工作臺(tái)角 +/- 30°

標(biāo)準(zhǔn)套件

白光干涉儀：
WLI 物鏡 2.5x0.075；  5x0.13； 10x0.3；  20x0.4； 50x0.55；  100x0.7

可選：
配備減震器來為納米和亞納米范圍測(cè)量?jī)?yōu)化減震

傳感器系統(tǒng)，包含：
WLI 傳感頭
相機(jī)，768 x 582 像素，高 48 圖像/秒
100 μm Z 軸，帶壓電驅(qū)動(dòng)
WLI 軟件模塊，"Inspector" 軟件
花崗石底座和立柱，配有手動(dòng)定位傳感器系統(tǒng)
手動(dòng) XY 載物臺(tái)用于測(cè)頭定位
20x0.4 DI 鏡頭（白光干涉儀）

干涉儀一直被用于測(cè)量表面形狀的高精度工具，或者用于量塊校準(zhǔn)。馬爾提供菲索干涉儀和白光干涉儀，其中白光干涉儀可以達(dá)到0.1納米的超高分辨率，用來測(cè)量超高精度3D表面粗糙度。

東莞市高騰達(dá)精密工具有限公司

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日本Kondo圓磨CKG系列 、ASZ系列 、UGK系列 、CTW系列

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