等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。等離子清洗機(jī)能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂 光刻膠：簡單的理解就是用氧氣把光刻膠燃燒掉，光刻膠的基本成分是碳?xì)溆袡C(jī)物，在射頻或微波作用下，氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通過泵被真空抽走，完成光刻膠的去除。
我們等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢：1:真空度：用皮拉尼原理測量到Pa，市面上別人用壓力規(guī)測試，他們是千帕，不是一個(gè)量級的。 2：我們是用的進(jìn)口的氣體流量傳感器原理，我們是質(zhì)量流量計(jì)檢測氣體，度是通入流量的±1.5%，友商/市面上用的是浮子流量計(jì)，是滿量程的4%，而且那個(gè)浮子球是上下浮動，手碰一下亂跑，說是4%，肯定達(dá)不了那么高。3：我們是石英腔體，潔凈度高，市面大部分是不銹鋼腔體。4：功率是150W，國內(nèi)都是統(tǒng)一的，別人說的是200-300瓦，那很多都是虛的。和友商同等規(guī)格 同等大小 對比 我們有以下優(yōu)勢一 2路流量計(jì) 質(zhì)量流量計(jì)采集更精準(zhǔn) 友商 浮子流量計(jì) 只能看浮球飄忽不定
二 流量控制 2個(gè)精密針閥調(diào)節(jié) 線性調(diào)節(jié)度較好 友商 普通浮子流量計(jì) 流量只能控制大概
三 真空采集 皮拉尼原理 真空計(jì) 測量大氣壓到0.1Pa的真空 友商 壓力傳感器 測量極限-99KPa 具體多少真空誰知道
四 通過精準(zhǔn)的流量檢測及真空采集 使自動控制一氣呵成 通過檢測固定的真空值讓射頻輝光 即使是手動匹配射頻電源 也只需要匹配一次 下次相同工藝 基本不需要再次調(diào)節(jié)匹配 友商 真空度都測不準(zhǔn)談啥控制。 @科探儀器設(shè)備
