高真空插板閥 11000 系列
上海伯東美國 HVA 不銹鋼 真空插板閥 11000 系列, 手動,氣動可選, 滿足高真空和超高真空應用, 清潔和高密封性保證 HVA 與, perfect聯用.
HVA 不銹鋼高 真空插板閥 11000 系列產品特點
高真空和超高真空, 閥門主體和內部組件采用不繡鋼材質
閥門口徑 DN 16 - 800 mm, 手動或氣動驅動
不繡鋼焊接波紋管, 標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
常規(guī) 200°c *高 250 °c
堅固耐用, 達到設定的真空度時, 氣動閥門自動開閉, 有purge 接口
全部美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口
HVA 高 超真空插板閥 11000 系列技術參數
|
閥門材質:
|
|
- 閥門主體
|
304 不銹鋼
|
|
- 焊接波紋管軸封
|
AM - 350
|
|
閥門密封方式
|
|
- 高真空
|
氟橡膠
|
|
- 超高真空
|
銅墊圈 / 氟橡膠
|
|
真空:
|
|
- 壓力范圍
|
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar
|
|
- 漏率
|
< 2x10-9 mbar l/S
|
|
- 差壓關閉
|
1 bar ( 任意位置 )
|
|
- 開啟前*大壓力
|
≤ 30 mbar
|
|
烘烤溫度（不含電磁閥）:
|
|
- 佛橡膠密封
|
150 °c, 可選配置*大 250 °c
|
|
- 銅墊圈密封
|
閥門關閉 200 °c, 閥門打開 150 °c
|
|
- 驅動方式
|
手動 60 °c, 氣動 60 °c
|
|
- 氣體
|
80 psig (5.5 bar)
|
|
- 電磁
|
4.0 Watts
|
|
- 供電
|
120 VAC 50 /60 Hz
|
|
- 可選電壓
|
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
或 12, 24 VDC
|
|
- 位置指示器,*大
|
115 VAC
或 28 VDC, 20 mA
|
|
使用壽命: 100,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定)
|
|
接口: DN 16 - 800 mm
|
美國 HVA 11000 系列高有正面鎖定的中心裝置或一個軟封的氣動閘（可選擇的) , 閥門保持關閉狀態(tài)以防空氣壓力損失, 11000 系列獨特的氣缸設計保證*低的沖擊和振動, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè). HVA不銹鋼提供了業(yè)界*小的內部接口. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的*大完整性,效delete了虛漏和缺陷部分, 閥體變形. 閥門手動, 三種驅動方式可選, 或定制法蘭滿足不同應用. 美國 HVA 11000 系列可任意位置安裝.
HVA 真空插板閥應用案例一
上海伯東客戶某大學自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統(tǒng), 采用美國 11000 系列并搭配 Pfeiffer 和 成功分析生長晶體表面結構.
.jpg)
HVA 真空插板閥應用案例二
美國 HVA 在半導體管道中的應用
半導體管道應用示意圖 現場圖
HVA 不銹鋼 11000 系列組成:
美國 HVA -美國*大制造商. 美國 HVA 原裝, 超過50年的高真空和超高設計與制造. 主營高, 廣泛應用于半導體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業(yè)等領域. 上海伯東是美國 HVA 在中國地區(qū)only指定總代理商。
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
伯東版權所有, 翻拷必究！
廣告
