等離子清洗機(jī)表面活化處理KT-S2DQX
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達(dá)到清洗目的.
等離子清洗機(jī)表面活化處理KT-S2DQX
供電電源
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AC220V(AC110V可選)
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工作電流
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整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
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射頻電源功率
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150W
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射頻頻率
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13.56MHz
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頻率偏移量
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<0.2MHz
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特性阻抗
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50歐姆,手動(dòng)匹配
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耦合方式
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電容耦合
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真空度
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≤100Pa
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腔體材質(zhì)
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高純石英
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腔體容積
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2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)
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觀察窗內(nèi)徑
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Φ65
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氣體流量
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10—100ml/min(其他量程可選)
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過程控制
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過程手動(dòng)控制
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清洗時(shí)間
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手動(dòng)開關(guān)
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開蓋方式
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鉸鏈側(cè)開式法蘭
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外形尺寸
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400x380x360mm
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重量
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23Kg
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真空室溫度
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小于65°C
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冷卻方式
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強(qiáng)制風(fēng)冷
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標(biāo)配
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KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說明書一本。
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