如果達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
潔凈手術(shù)部 clean operating department
由潔凈手術(shù)室、潔凈輔助用房和非潔凈輔助用房組成的自成體系的功能區(qū)域。
交竣狀態(tài)潔凈室(空態(tài)) as built clean room
已建成并準(zhǔn)備運(yùn)行的、具有凈化空調(diào)的全部設(shè)施及功能,但室內(nèi)沒有設(shè)備和人員的潔凈室。
待工狀態(tài)潔凈室(靜態(tài))atrest clean room
室內(nèi)凈化空調(diào)設(shè)施及功能齊備,如有工藝設(shè)備,工藝設(shè)備已安裝并可運(yùn)行,但無工作人員時(shí)的潔凈室。
潔凈室的地板系統(tǒng)除了需要給在這個(gè)區(qū)域工作的人們提供穩(wěn)定的立足點(diǎn)外,還要提供更多東西,例如把潔凈的空氣送入房間,支撐加工藝設(shè)備,為必要的設(shè)備維修提供方便的通道,并且還要具備堅(jiān)固的表面保證設(shè)備可以在上面進(jìn)行改造。潔凈室的地板也提供了電力系統(tǒng)的接地,起到傳導(dǎo)和靜電耗散的作用,xcESD積累。
由于所有這些原因,潔凈室的地板成為整個(gè)潔凈室中最重要的組成部分。然而,很多設(shè)備經(jīng)理或工具安裝人員,在使用潔凈室時(shí)都會(huì)碰到地板帶來的麻煩。舉個(gè)例子,人們要進(jìn)入地板下面的空間時(shí),就會(huì)認(rèn)識(shí)到——由于公差過于精密——需要很大的力量才能打開地板塊;然后,在把地板塊放回原處的時(shí)候,通常地板塊無法wq復(fù)原,不得不用腳用力在上面跺。而且,在使用工具翻開地板塊的時(shí)候,經(jīng)常會(huì)損壞它們。