高溫?zé)崤_小型真空探針臺KT-0904T-R
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類。晶圓級半自動面內(nèi)磁場探針臺詳細(xì)參數(shù)：垂直或面內(nèi)磁場探針臺，通用性設(shè)計；容納12寸晶圓。
推薦女同學(xué) 玫瑰紅 男同學(xué) 土豪金 微型高低溫真空探針臺 高溫400℃ 低溫-196℃ 測試光電材料 氣敏 濕敏材料等 配真空4探針 移動精度5微米 漏電噪聲10pA 可選配 光纖接口 真空接口 數(shù)字源表 光學(xué)減震臺 等......
高溫?zé)崤_小型真空探針臺KT-0904T-R參數(shù)
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真空腔體
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類型
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加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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腔體內(nèi)尺寸
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φ90x40mm
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腔體上視窗尺寸
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Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
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腔體抽氣口
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KF16
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腔體進氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體出氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體正壓
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≤0.05MPa
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腔體真空度
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機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
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樣品臺
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樣品臺材質(zhì)
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304不銹鋼
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樣品臺尺寸
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26X26mm
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樣品臺-視窗 距離
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30mm（可選凹視窗間距15mm）
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樣品臺測溫傳感器
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A 級PT100鉑電阻
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樣品臺溫度
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室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃）
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樣品臺測溫誤差
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±0.2℃
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樣品臺變溫速率
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高溫10℃/min 低溫5℃/min
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溫控儀
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溫度顯示
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7寸人機界面
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溫控類型
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標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
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溫度分辨率
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0.1℃
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溫控精度
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±0.5℃
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溫度信號輸入類型
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PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶）
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溫控輸出
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直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
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輔助功能
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溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線
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探針
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電信號接頭
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配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
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探針數(shù)量
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4探針（可定做6探針）
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探針材質(zhì)
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鍍金鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動平臺
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X軸移動行程
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12mm ±6mm
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X軸控制精度
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≤5μm
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Y軸移動行程
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12mm ±6mm
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Y軸控制精度
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≤5μm
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Z軸移動行程
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12mm ±6mm
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Z軸控制精度
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≤5μm
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數(shù)碼顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡放大+電子放大
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顯微鏡放大倍數(shù)
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100倍
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顯微鏡工作間距
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50-150mm
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相機分辨率
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1080P 60幀
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相機信號輸出
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HDMI輸出+USB輸出
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LED可調(diào)光源
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LED光源
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顯示屏
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5寸 屏幕一體機
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