Mini真空探針臺KT-0904T 是一款普通型無高溫低溫系統(tǒng)真空探針臺，尺寸300mmX260mm，輕便小巧，功能齊全?？蓱?yīng)用于導(dǎo)體/微電子，電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
KT-0904T 系列探針臺還有加熱型探針臺，高低溫探針臺，選擇多樣性。
真空探針臺基本參數(shù)：
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操作溫度
高溫：室溫至400℃，
低溫：可選擇液氮達到-196℃
* 溫度可控，可控精度<1℃
* 真空度1機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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可配置多達六個微操縱探針臂（波紋管）
Mini真空探針臺KT-0904T 參數(shù)
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真空腔體
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類型
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加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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腔體內(nèi)尺寸
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φ90x40mm
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腔體上視窗尺寸
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Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
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腔體抽氣口
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KF16
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腔體進氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體出氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體正壓
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≤0.05MPa
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腔體真空度
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機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
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樣品臺
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樣品臺材質(zhì)
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304不銹鋼
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樣品臺尺寸
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26X26mm
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樣品臺-視窗 距離
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30mm（可選凹視窗間距15mm）
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樣品臺測溫傳感器
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A 級PT100鉑電阻
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樣品臺溫度
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室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃）
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樣品臺測溫誤差
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±0.2℃
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樣品臺變溫速率
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高溫10℃/min 低溫5℃/min
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溫控儀
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溫度顯示
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7寸人機界面
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溫控類型
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標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
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溫度分辨率
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0.1℃
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溫控精度
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±0.5℃
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溫度信號輸入類型
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PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶）
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溫控輸出
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直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
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輔助功能
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溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線
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探針
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電信號接頭
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配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
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探針數(shù)量
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4探針（可定做6探針）
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探針材質(zhì)
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鍍金鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動平臺
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X軸移動行程
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12mm ±6mm
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X軸控制精度
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≤5μm
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Y軸移動行程
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12mm ±6mm
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Y軸控制精度
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≤5μm
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Z軸移動行程
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12mm ±6mm
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Z軸控制精度
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≤5μm
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數(shù)碼顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡放大+電子放大
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顯微鏡放大倍數(shù)
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100倍
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顯微鏡工作間距
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50-150mm
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相機分辨率
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1080P 60幀
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相機信號輸出
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HDMI輸出+USB輸出
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LED可調(diào)光源
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LED光源
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顯示屏
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5寸 屏幕一體機
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