150W等離子清洗機(jī)
KT-S2DQX型等離子清洗機(jī)電源屬于150W 13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設(shè)備,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉體,容積為2升。采用了新型的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空
氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較,從檢測功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn)
樣品清洗 和教學(xué)。
供電電源
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AC220V(AC110V可選)
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工作電流
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整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
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射頻電源功率
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150W
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清洗頻率
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13.56MHz
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頻率偏移量
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<0.2MHz
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特性阻抗
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50歐姆,手動(dòng)匹配
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耦合方式
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電容耦合
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真空度
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≤50Pa
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腔體材質(zhì)
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高純石英
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腔體容積
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2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)
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觀察窗內(nèi)徑
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Φ65
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氣體流量
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10—100ml/min(其他量程可選)
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過程控制
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過程手動(dòng)控制
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清洗時(shí)間
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手動(dòng)開關(guān)
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開蓋方式
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鉸鏈側(cè)開式法蘭
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外形尺寸
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400x380x360mm
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重量
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23Kg
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真空室溫度
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小于65°C
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冷卻方式
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強(qiáng)制風(fēng)冷
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