主要特點
碳化硅舟(光伏級)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,材料熱穩(wěn)定性能好,高溫使用不變形,(半導(dǎo)體級)材料純度高,具有高純度基體和碳化硅薄膜,避免了雜質(zhì)引入,減少了工藝制程中對設(shè)備環(huán)境的污染,有效提高產(chǎn)品品質(zhì)。
詳細說明
光伏行業(yè)普遍使用的石英舟托及舟,因其生產(chǎn)工藝和石英材料特性,使用壽命為3-6個月,碳化硅舟托及舟,代替石英,使用壽命可達5年以上,可顯著降低使用成本及維護維修停線造成的產(chǎn)能損失。
應(yīng)用范圍
適用于光伏設(shè)備,半導(dǎo)體設(shè)備中晶圓的關(guān)鍵承載部件。
碳化硅舟應(yīng)用半導(dǎo)體立式爐,主要應(yīng)用于高溫氧化環(huán)節(jié)和高溫退火環(huán)節(jié)。