主要特點
碳化硅懸臂槳性能穩(wěn)定,在高溫環(huán)境下不變形,晶圓裝載量大,耐急冷急熱,熱膨脹系數(shù)小,使用壽命長,極大的
延長了設(shè)備維護清洗周期,并大幅減少污染物。
懸臂槳是光伏電池片裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。
SiC懸臂槳是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。目前半導(dǎo)體用帶CVD涂層的槳依賴進口。
我國到目前為止,半導(dǎo)體用碳化硅陶瓷依舊只能以進口為主,主要進口來源國為美國、日本。價格居高不下,交貨期基本在24個月之上,嚴重制約我國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。同時,由于貿(mào)易摩擦,此類產(chǎn)品已經(jīng)在國防軍工相關(guān)領(lǐng)域被禁用,國產(chǎn)替代勢在必行。固勤研制的槳、舟及爐管已初步滿足試產(chǎn)條件,正與中國電子科技集團展開合作,積極尋求進口替代。