KT-0904T-RL精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面可升溫到高溫400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

該腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

 技術(shù)參數(shù)； 真空腔體 型號 KT-0904T-RL加熱制冷 KT-0904T-R加熱 KT-0904T制冷 類型 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ 腔體材質(zhì) 304不銹鋼 腔體內(nèi)尺寸 φ90x40mm 腔體上視窗尺寸 Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） 腔體抽氣口 KF16 腔體進氣口 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 腔體出氣口 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 腔體正壓 ≤0.05MPa 腔體真空度 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） 

一種低溫探針臺及其測試腔組件 本實用新型涉及一種低溫探針臺及其測試腔組件,測試腔組件包括外殼和外殼上蓋板,外殼和外殼上蓋板形成測試腔,外殼上蓋板上設(shè)置有用于供顯微鏡觀察的觀察窗,測試腔內(nèi)設(shè)置有供測試件放置的載物臺和探針,該測試腔組件還包括用于對載物臺進行降溫的半導體制冷器,半導體制冷器的冷端與載物臺接觸以對載物臺及其上的測試件進行降溫處理。在測試時,將測試件放置于測試腔中的載物臺上,通過半導體制冷器對載物臺進行降溫,進而對載物臺上的待測試件進行降溫,能夠研究半導體等材料在低溫條件下的性能測試。 

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