高溫蒸鍍儀,KT-Z1650CVD,石英+不銹鋼腔體,觸摸屏控制,工藝儲(chǔ)存功能,自動(dòng)電控?fù)醢灞Wo(hù)樣品
在厚度為2nm (20埃)或更厚時(shí)膜是連續(xù)的。通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以達(dá)到最 大電流密度,使得它具有足夠的溫度來(lái)引起蒸發(fā)。基于這點(diǎn),出現(xiàn)了細(xì)小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統(tǒng)需要用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵達(dá)到1x10-4 mbar或更高的真空度。
渦輪分子泵在K950X中作為標(biāo)準(zhǔn)配置,此泵作為機(jī)械真空泵的后級(jí)泵,真空為全自動(dòng)控制,真空度優(yōu)于1x10-5 mbar。可進(jìn)行預(yù)熱及除氣控制,同時(shí)用瞬時(shí)蒸發(fā)開(kāi)關(guān)使脈沖蒸發(fā)在用戶(hù)控制下進(jìn)行。
標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可進(jìn)行傾斜調(diào)節(jié),非常容易適應(yīng)各種樣品座。
以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖
原樣品沒(méi)有鍍膜
115A 100秒 機(jī)械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD
控制方式
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7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
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加熱方式
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數(shù)字式功率調(diào)整器
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鍍膜功能
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0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
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最 大功率
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≤1200W
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最 大輸出電壓電流
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電壓≤12V 電流≤120A
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真空度
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機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa
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擋板類(lèi)型
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電控
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真空腔室
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石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
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樣品臺(tái)
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可旋轉(zhuǎn)φ62 (最 大可安裝φ50基底)
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樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速
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8轉(zhuǎn)/分鐘
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樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離
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70-140mm
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)
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≤1800℃
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支持蒸發(fā)坩堝類(lèi)型
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鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩
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預(yù)留真空接口
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KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
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可選配擴(kuò)展
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機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa)
數(shù)顯真空計(jì)(測(cè)量范圍大氣壓到0.1Pa)
分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)
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