水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,是一種緊湊型全自動濺射鍍膜機,使用非常簡單。由于獨特的插件概念,該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā),只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。
高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段,每個選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監(jiān)測都作為標(biāo)準(zhǔn)。.
?高性能濺射、碳涂層和等離子處理
?獲得的碳線軸–最多50個碳涂層,無需用戶干預(yù)
?獨特的即插即用濺射和碳涂層模塊
?真空性能和快速泵送時間
水冷型濺射儀,技術(shù)參數(shù);
控制方式
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7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
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濺射電源
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直流濺射電源
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鍍膜功能
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0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
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功率
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≤1000W
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輸出電壓電流
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電壓≤1000V 電流≤1A
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真空
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機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa
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濺射真空
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≤30Pa
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擋板類型
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電控
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真空腔室
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石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
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樣品臺
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可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底)
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樣品臺轉(zhuǎn)速
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8轉(zhuǎn)/分鐘
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樣品濺射源調(diào)節(jié)距離
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40-105mm
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真空測量
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皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa)
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預(yù)留真空接口
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KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
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