KRI 考夫曼 KDC 75
上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼 KDC 75:緊湊柵極,離子束直徑 14 cm ,可安裝在 8“CF法蘭. 適用于中小型腔內(nèi), 考夫曼 KDC 75 包含2個陰極燈絲, 其中一個作為備用,KDC 75 提供緊密聚焦的電子束特別適合濺射鍍膜. 標(biāo)準(zhǔn)配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 250 mA.
KRI 考夫曼 KDC 75 技術(shù)參數(shù)
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型號
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KDC 75 / KDC 75L(低電流輸出)
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供電
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DC magnetic confinement
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- 陰極燈絲
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2
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- 陽極電壓
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0-100V DC
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電子束
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OptiBeam?
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- 柵極
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專用, 自對準(zhǔn)
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-柵極直徑
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7.5 cm
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中和器
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燈絲
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電源控制
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KSC 1212 或 KSC 1202
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配置
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-
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- 陰極中和器
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Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000
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- 安裝
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移動或快速法蘭
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- 高度
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7.9'
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- 直徑
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5.5'
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- 離子束
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聚焦
平行
散設(shè)
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-加工材料
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金屬
電介質(zhì)
半導(dǎo)體
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-工藝氣體
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惰性
活性
混合
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-安裝距離
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6-24”
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- 自動控制
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控制4種氣體
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* 可選: 一個陰極燈絲; 可調(diào)角度的支架
KRI 考夫曼 KDC 75 應(yīng)用領(lǐng)域
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD
表面改性, SM
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE
客戶案例: 超高真空離子刻蝕機(jī) IBE, 真空度 5E-10 torr, 系統(tǒng)配置
